催化燃燒廢氣處理（lǐ）設備在電子半導（dǎo）體行業的應（yīng）用越來越廣泛，這主要是由於電子半導體（tǐ）行業在製造過程中會產生大量有機氣體和（hé）有毒氣體，對環境和（hé）人體健（jiàn）康造成嚴重的危害。因（yīn）此，催化燃（rán）燒廢氣處理設備在電子半導體（tǐ）行業應（yīng）用是非常（cháng）必要的（de）。本文將介紹一個（gè）針對某電子半（bàn）導體廠的催化燃燒廢氣處理設備應用案例（lì）。

一、電子半導體行業廢氣情況及催化燃燒廢氣處理（lǐ）的必要性

電子半導體行業是一（yī）種（zhǒng）高新技術產業，它包括了集成電路(IC)、半導體材料、電（diàn）子元器件、電子專用材料、電子信息係統（tǒng）和應用等多個（gè）方麵。在（zài）這（zhè）些領域中，製（zhì）造過程中往（wǎng）往會產生大量的（de）有機氣體和有毒氣體，如揮發性有機物(VOC)、氟化氫（qīng）(HF)、氯化氫(HCl)、氮氧化物(NOx)、苯、甲醛等。這些廢氣中有一些是對人體有（yǒu）毒的，其揮發（fā）性、氧化性（xìng）和易燃性也很強。如果這些廢氣不做適當的處理，將會（huì）對（duì）人體健康及周圍環境造成很大的危害。在電子半導體行業中，製造過程中排放（fàng）廢氣量很（hěn）大，因此，催化燃燒廢氣處理設備就具有了很大（dà）的應（yīng）用場景。
二、電子半導體行業催化燃燒廢氣處理（lǐ）設備的應用案例

某電子半導體廠由於生產設備的老化以及工藝、工藝氣（qì）體的變更，導（dǎo）致廢氣的排放（fàng）質量指標嚴重超標。為將汙染物達標排放，客戶選擇了催化燃燒廢氣處理設備，對有機（jī）廢氣進行治理（lǐ）。此次（cì）項目排放處（chù）理場所（suǒ）麵積達25平方米，廢氣（qì）抽取口位於生產設備上方。現將該項目的設計、施工及調（diào）試（shì）情況進行介紹。

1. 設計方案

針對該電子半導體廠的實際情況，處理方案采用VOCs的催化燃燒技術，采用微正壓原理，根據排放物的種類、濃（nóng）度、運行溫度、流量等參（cān）數，選用了燃氣/空氣混合比為1.2/1的亞甲（jiǎ）基藍催（cuī）化劑催化燃燒技術。催化（huà）燃燒廢氣（qì）處理設備采用的是進口催化器和燃燒器，主體設備包涵進風管、調（diào）節（jiē）閥、催化燃燒器（qì）、藍牙小型遠（yuǎn）程控製器、排煙風機、風機（jī）變頻控製櫃等，主要技術指標為：

(1) 處理清潔率：≥99%；

(2) 廢氣進口濃（nóng）度：1000毫克/立方米；

(3) 處理空氣量：750立（lì）方米/小時；

(4) 煙氣溫度：150~300℃；

(5) 執行標準：《國家廢氣排放標準》GB 16297-1996。

2. 施（shī）工過程

催化燃燒（shāo）廢氣處理設（shè）備（bèi）的安裝、接線、調試都需要按（àn）照專業的要求進行，並在專業人員的指導（dǎo）下操（cāo）作。施工時需要特別（bié）注意如下細節：

(1) 安裝（zhuāng）催化燃燒器時需要按照設備的設計圖（tú）紙進行正確的定位。

(2) 安裝催化器時需（xū）要嚴格遵守（shǒu）催化器廠家的操作（zuò）要求，以避免對催化器造成損害。

(3) 安裝焚燒器時需要對其進風（fēng）管進行（háng）密（mì）封，以保（bǎo）證在工作時的始終有足量的氧氣供應。

(4) 排氣管道的平直輸送，保證管段不彎曲（qǔ）、不堵塞，以免影響運行效果（guǒ）。

3. 調試工（gōng）作

安裝（zhuāng）完（wán）成後，需（xū）要對催（cuī）化燃燒廢氣處理設備進行調試和運行試驗，以實現正常的運行。具體步驟如下：

(1) 在達到規定的進風量下（xià），調整控製器（qì）的氣和氧氣（qì）混（hún）合比。

(2) 檢查排氣管路、排氣風機是否正常運轉、催化器是否有渣（zhā）滓積（jī）聚、檢測設備是否有漏氣回流現象。

(3) 小範圍加熱催化燃燒廢氣處理設備，記錄溫度變化，並觀察（chá）是否有漏氣現象。

(4) 壓縮空氣+空氣/空氣魔板進行穩壓穩流（liú）校準，檢查VOCs濃度分析後的準確（què）性、響應時間和分析設備的性能等。

(5) 根據國家標準或客戶要求進行檢驗測試，檢查（chá）處理後的廢氣濃度是否達到國家要求。

以上調試工作一（yī）般由專（zhuān）業的調試工程師和生（shēng）產（chǎn）工程師完成。

三、結語

本文（wén）主（zhǔ）要（yào）介紹了催化燃燒廢氣處理設備在（zài）電子半導體行業中的應用案例，針對該電子半導體（tǐ）廠的廢氣情況，采取了（le）VOCs的（de）催化燃燒技術，達（dá）到了很好的處理效果。在電子半導體製（zhì）造過程中，催化燃（rán）燒廢氣處理設備的應用是非常必要的，可有（yǒu）效減（jiǎn）少廢氣排放對人類健康及周圍環（huán）境造成危害。