半導體行業廢氣治理方案
方案概述
半導（dǎo）體（tǐ）行（háng）業廢氣處理，按照其廢氣處理工藝分為：酸性廢氣處理（SEX）、堿（jiǎn）性廢氣（qì）處理(AEX)、有機廢氣處理(VEX)和一般排（pái）氣(GEX)等；其廢氣處理（lǐ）係統包括：酸性廢氣處理設備、堿性廢氣處理設備、有機廢（fèi）氣處理設備等；酸、堿廢氣處理設備有：洗（xǐ）滌塔，又名噴淋塔、吸收塔；有機廢氣處理設備有：活性炭吸附裝置（zhì）、直燃式熱氧化廢氣焚燒（shāo）爐（TO）等。
方案構成
方案特點
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智能運維
可遠程（chéng）在線監控係統運行穩定，自動化程（chéng）序高，可遠程智能監控，在線監測監控達標排放（fàng）。
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工（gōng）況（kuàng）要求底
處理（lǐ）風量範圍大對工況（kuàng）要求低，廢氣中可以含（hán）有（yǒu）多（duō）種有機成分，處理風量範圍大：1,000~300,000Nm³/h；
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運行費（fèi）用低
廢氣充（chōng）當燃料（liào）節省費用（yòng）當 VOC 濃度達到平衡點，可不需要額外的燃料消耗。
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淨化率高
三床式RTO效率最好三床式 RTO 淨化（huà）率在 98% 以上（shàng）；
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全自動控製
PLC參與整個廢（fèi）氣處理過程全自動控製，操作簡單（dān）；操作費用（yòng）低（dī）；節省人力物力；減少各種意外（wài）因素；提升安全性；
技術路線
活性炭 / 沸石+催化燃燒
淨化原理: 有機廢氣通過活（huó）性炭/沸石（shí）吸附飽和後，采用熱空氣進行脫附（fù）再生，脫附後（hòu）的高（gāo）濃度廢氣經催化燃燒排（pái）空。催（cuī）化燃燒利用熱空氣或熱氮氣來脫附（fù）產生的高濃度廢氣，有機廢氣在（zài）貴金屬催化劑的（de）作用下於250~400℃之間催化氧化（huà）為CO2和H2O，並釋放大量的熱量，通過熱交換器（qì）對熱量進行再利用。
沸石轉（zhuǎn）筒+三塔式RTO
本技術是沸石轉輪吸附同蓄熱（rè）式焚燒技術的組合工藝（yì），淨化係統主要由多級過濾裝置、沸石轉輪濃縮吸附裝置（zhì）、RT0、風機、換熱器、PLC自動化控製係統組成。該組合技術通過（guò）沸石（shí）轉輪的吸附濃縮使大風量、低濃度有（yǒu）機（jī）廢氣濃縮為（wéi）小風量（liàng）、高濃度濃縮（suō）氣體，高濃度濃縮氣再經RTO高溫燃燒分解為(CO2和H2O等無機成分（fèn）。
活性炭 / 沸石+催化燃燒
淨化原理: 有機（jī）廢氣通過活（huó）性炭（tàn）/沸石（shí）吸附飽和後，采用熱空氣進行（háng）脫附再生，脫附後的（de）高濃度（dù）廢氣經催化燃燒排空（kōng）。催（cuī）化燃燒利用熱空氣或熱氮氣來脫附產生的高濃度廢氣，有機廢氣在貴金屬催化（huà）劑的作用下於250~400℃之間催化氧化為CO2和H2O，並釋放（fàng）大量的熱量，通過熱交換器（qì）對熱量進行再利用。
沸石轉筒+三塔式（shì）RTO
本技術是沸石轉輪吸附同蓄熱式焚燒技（jì）術的組合工藝，淨化係統主要由多級過濾（lǜ）裝置、沸石轉輪濃縮吸附裝置、RT0、風機、換熱器、PLC自動化控（kòng）製係統組成。該組合技術通（tōng）過沸石轉輪的吸附（fù）濃縮使大風量、低濃度有機廢氣濃縮為小（xiǎo）風量、高濃（nóng）度濃（nóng）縮氣體，高濃度濃（nóng）縮氣再經RTO高（gāo）溫燃燒分解為(CO2和（hé）H2O等無機成（chéng）分。