半導體行（háng）業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻（kè）液等溶劑中含有大量有機物（wù）成分，在工藝過（guò）程中，這些有機溶（róng）劑（jì）大部分通過揮發成為廢（fèi）氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危（wēi）險汙（wū）染物，分離和（hé）處理難度比較大（dà）。下麵為您介紹半導體廢氣處理方法：

半導體酸廢氣處（chù）理方法

半導體酸（suān）廢（fèi）氣處理通常（cháng）采用堿液體噴淋法（fǎ），又稱化學（xué）洗滌法。因液體自身具有的溶（róng）解特性（xìng），可以更好地捕（bǔ）捉沉降，溶解去除汙染物，而（ér）達到大氣排放標準，故噴淋法是（shì）半導體（tǐ）行業酸堿（jiǎn）廢氣治理普遍采用（yòng）的主要（yào）處理方法。

新材料行業半導體廢氣處理（lǐ）的方法

新（xīn）材料行業與傳統（tǒng）材料相比，新材料產業具有技術高度密集，研究與開發投入高，產品的附加值（zhí）高，生產與市場的國際性強，以及應用（yòng）範圍廣，發展前（qián）景好等特點，其研發（fā）水平及產（chǎn）業化規模已（yǐ）成為衡量一個國家經濟，社會發展，科技進步和國防實力的重要標誌，世界（jiè）各國特別是發達國家都十分重視新材料產業的發展。

作為新材料產業的代表（biǎo）之一，半導體工藝對操（cāo）作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各（gè）類廢氣，因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為（wéi）四類：酸性氣體（tǐ）、堿性氣體、有機廢氣（qì）和有毒（dú）氣體（tǐ）。

半導體行業廢氣處（chù）理方法

半（bàn）導體（tǐ）行業有機廢氣處理方法，通常（cháng）先用沸石轉輪對VOCs進行吸附濃縮之（zhī）後，再用直接燃燒法進行銷毀，廢氣（qì）淨化率達到（dào）97%以（yǐ）上。

直接燃燒又稱為（wéi）直接（jiē）火焰燃燒（shāo），它（tā）是把（bǎ）VOCs可燃組分直接燒掉，因此該方法（fǎ）適用於淨化可燃有害組分濃度較高的廢氣，或（huò）者淨化有（yǒu）害組分燃燒時熱值較高的廢（fèi）氣；多種（zhǒng）可燃氣體或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中（zhōng），隻要濃度值（zhí）適宜，也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高於燃燒上限（xiàn），可以混入空氣後燃燒；如果可燃組分的（de）濃度低於燃燒（shāo）下限，則可以加入一定數量的輔助燃料如（rú）天然氣等，維持燃燒。

電子半導體行業廢氣處理適合產品（pǐn）

沸石轉輪VOCs廢氣處（chù）理(治理)一體機（jī）

產品概述

沸石轉筒濃縮+CO催化（huà）燃燒廢氣處理一體化裝置是我公司開發的新型廢氣處理裝置，引進核心部件，結合我公司多年來（lái）積累的廢氣治理經驗，共同推廣（guǎng）的高效節能，無（wú）二次汙（wū）染的新型係列產品，該產品運行（háng）穩定，安（ān）全，綜合運行成本低，為環保治理（lǐ）項目增加了新的選項。

運作原理

廢氣通過濃縮轉輪吸附區將 (VOC)吸附，達到淨化效果。被吸（xī）附 (VOC)在脫附（fù）區通過少量熱風進行脫附。由此達到濃縮（suō）效果。

吸附過程：吸附床分16個扇區，裏麵填充顆粒態分子篩，當廢氣穿過（guò）吸附床層時，VOC分子被截留下來，達到（dào）淨化的目的。

脫附過程：當介質吸附一定量的VOC後，在穿透濃度的（de）安全閾值之前進行（háng）脫附。引入熱空氣（180-220℃），通過升（shēng）溫和變壓兩種方式進行解析再生。 脫附下來的（de）高濃（nóng）度廢氣引入燃（rán）燒爐中進行徹底（dǐ）分解。

冷卻過程：介質（zhì）降到（dào）常（cháng）溫恢複吸（xī）附性能，可以專門進行冷空氣冷卻，也可以用廢氣直接冷卻，根據應用場合選定。

工藝特點

筒式轉輪適合大風量+低（dī）濃度廢氣

01、間歇作業，非連續性生產，波動大；

02、高沸點VOC，DMF、鄰二甲苯等；

03、小分子VOC、甲醇、CS2、糠醛等；

04、濕度大（dà）工況，相對濕度大；

顆粒態轉筒一個（gè）重要（yào）特點可以根據氣體成分靈活定製吸附介質，以應對一些比較難處理的VOC項目，如糠醛、甲醇、CS2等行業的廢氣（qì）。

疏水矽沸石吸附劑呈現強烈的疏水/親油特性、具有尺寸均勻的孔（kǒng）道、較大的比表麵積（jī）（500~1000㎡/g）和較大的吸附容量，可用於從廢氣中吸附去除許多有機物（wù）分子，是（shì）一種新型的環保材料（liào）。脫附溫度180-2200C。

在分子篩轉輪上易發生聚合反應的烯（xī）烴（tīng）類物質、有（yǒu）機矽（guī）氧烷、沸點超高（gāo）260℃以上（shàng）的大分子物質（zhì）等，可能會（huì）對轉輪造成永久性損壞。現列出轉輪無法處理的物質成分、不允許進入轉輪的物質和限製進入轉輪的物質（zhì），列（liè）表如下：

表（biǎo） 不允許進入轉（zhuǎn）輪的物（wù）質

表 限製進（jìn）入轉輪的物質

基材及沸石晶體結構的破壞是不可逆，聚合物導致通氣道堵塞基材及沸石晶體結構的破壞是不 可逆，聚合物導致通氣道堵塞可逆的。高沸點物（wù）質殘留導致的石（shí）通氣道堵塞（sāi）是可逆，特（tè）定離線活化工藝可恢複原始性能的80-90%。我們再按照這個（gè）標準再劃分總結，如（rú）下：

應用行業

1.各種噴漆車間（jiān）(汽（qì）車製造，五金家（jiā）具（jù）、造船、自行車製造，金屬製品等);

2.各種印刷車間（jiān）(凹版印劇，建築裝潢材料印刷，包裝（zhuāng）印刷等);

3.各種合（hé）成樹脂，橡膠製品，半導體，鋁型材，鍍膜等。

適用條件:低濃度，大風量，溫度

產品的優勢

1、吸附性能強；

2、運行成本低；

3、使用壽命長；

4、維護成本低；

5、吸附、脫附連續運營；

6、脫附達到能循環狀態 節約能（néng）耗。