隨（suí）著我國工業技術的高速（sù）發展（zhǎn），其中半導體行業需求也迅速加大，但隨之而來也帶有VOC廢氣對大氣汙染。因為（wéi）國（guó）家近年來（lái）對環境治理加大力度，半導體也成分重點治理對象之一（yī）。半（bàn）導體行業對生產（chǎn）車間清潔度（dù）要求極高，因此廢氣排放風量較（jiào）大、排放濃（nóng）度小的。今（jīn）天天清蘑菇视频app小編簡（jiǎn）單介紹半導體行業廢氣處理解決方案。  


廢氣主要來源於芯片或者是（shì）線路板出產的清洗、均膠、去（qù）膠、刻蝕、顯影過程（chéng）中以及對電路板進行清洗。主要成分有機廢氣和（hé）酸堿廢氣兩類。有機類有:非（fēi）甲烷總烴、氮氧化物、二（èr）氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。


半導體行業廢（fèi）氣處理解決方案（àn）：


(1)預處理階段:一般采用沸石（shí）分子篩先對廢（fèi）氣進行預處理，去除粉塵以及有害氣體。

(2)主要處理階段:在此階段，比較常見而有效方法有（yǒu）: UV光解，生物過濾分解，蓄熱式熱氧化和催化燃（rán）燒等。這幾種方（fāng）式各有（yǒu）優（yōu）劣，根據大多數電子廠廢氣的情況，在這裏我們主要推薦和介紹蓄熱式熱氧化（RTO）三塔（tǎ）式廢氣處理(治理（lǐ）)裝置。

蓄熱式（shì）熱氧化（RTO）三塔式（shì）廢氣處理（lǐ）(治理)裝置（zhì）


產品概述（shù）


蓄熱式熱力焚燒爐（RTO），是一種高效有機廢氣（qì）治理設備。與傳統的催化燃燒、直燃式熱氧化爐（TO）相比，具（jù）有熱效率（lǜ）高（≥95%）、運行成（chéng）本低、能處理大風量（liàng）中（zhōng）低濃度廢氣等特點，濃度稍高時，還可進行二（èr）次餘熱回收，大大降低生產運營成本。


運作原理


RTO (Regenerative Thermal Oxidizer,簡稱RTO),蓄熱式氧化爐。其原理是在（zài）高溫下（xià）將廢氣中的有機物（VOCs)氧化成（chéng）對應的二氧化碳和水，從而淨化廢氣，並回收（shōu）廢氣分解時所釋放出來的熱量，三室RTO廢氣分解效率達到（dào）99%以上，熱回收效率達到95%以上。根據客戶實際需求，選擇不同的熱能回收方式和切換閥方式。


其原理是可燃有機廢氣在攝（shè）氏760～1000度發生熱氧（yǎng）化反應，生成二氧化碳和水等。廢氣首先通過蓄熱（rè）體（tǐ）加熱到接近熱（rè）氧化溫度，而後進入燃燒室進行熱氧化，氧化後的氣體溫度升高，有機物基本轉化（huà）成二氧化碳和水。淨（jìng）化後的氣體，經（jīng）過另一（yī）蓄熱體，溫度（dù）下降，達到排放標（biāo）準後進行排放。


RTO裝置中的蓄熱式陶瓷填充床換熱器可最大（dà）限度回（huí）收熱能（néng），熱回收率大於95%，處理VOCs時不用（yòng）或（huò）使用很少的燃料。若處（chù）理（lǐ）低濃（nóng）度廢氣，可選裝濃縮裝置，以降（jiàng）低燃（rán）料消耗。


根據客戶需求，可設計兩室、三室、多室或單室旋轉式RTO裝（zhuāng）置。


工藝特點


1. 對工況要求低，廢氣中可以含有多種有機成分，處理（lǐ）風量範（fàn）圍大： 1,000～300,000Nm³/h；

2. 淨化率高，兩床式（shì）RTO淨化率在95%以上，三床（chuáng）式RTO淨化率在 99%以（yǐ）上；

3. 全自動控製，操（cāo）作簡單；操（cāo）作費用低；

4. 運行費用低，當VOC濃度達到400ppm時，不需要額外的燃料消耗。  


應用行業


1.汽車、造船、摩（mó）托車、自行（háng）車、家用電器、汽修、輪胎等行（háng）業噴漆塗裝車間產生的有機廢氣；

2.化工、製藥、半導體製造、LCD製造、製鞋（xié）粘膠、印鐵製（zhì）罐、塑料注塑、油墨廢氣、印（yìn）刷廠、電纜及漆包線等製造過程排（pái）放（fàng）的有機廢氣。

3. 使用有（yǒu）機廢氣種類：烷烴、烯烴、醇（chún）類、酮類、醚類、酯（zhǐ）類、芳烴、苯類（lèi）等碳氫化合（hé）物有機廢氣。

4. 有機物低濃度(同時滿足低於25%LFL)、大風量

5. 廢（fèi）氣中含有多種有機成分、或有機成分經常發生（shēng）變化

6.  含有容易使（shǐ）催化劑中毒或活性衰退成分的廢氣


產品的優勢


●幾（jǐ）乎（hū）可以處理所有含有（yǒu）機化合物的廢氣

●可以處理風量大、濃（nóng）度低的有機廢氣

●處理有機廢氣（qì）流量的彈性很大（名義流量20%~120%）

●可以適應（yīng）有機廢氣（qì）中VOC的（de）組成和濃（nóng）度（dù）的變化、波（bō）動（dòng）

●對廢氣中夾帶（dài）少量灰塵、固體顆粒不敏（mǐn）感

●在所（suǒ）有熱力燃燒淨化法中熱效率最（zuì）高（>95%）

●在合適的（de）廢氣（qì）濃度條件下無需添加輔助燃料而實現自供熱操作

●淨化效率高（三室>99%）

●維護工作量少、操作安全可靠